【沿革】
昭和63年７月 東京都八王子市に資本金３百万円で株式会社レイテックスを設立
平成２年７月 Chapman社製非接触表面粗さ計の販売を開始
平成５年５月 E+H社製ウェーハ形状測定器の販売を開始
平成６年１月 本社を東京都国分寺市に移転
平成７年６月 本社を東京都多摩市に移転
平成７年12月 ウェーハエッジ欠陥自動検査装置「EdgeScan」の開発を開始
平成８年５月 ウェーハエッジ欠陥自動検査装置「EdgeScan」の販売を開始（自社開発第１弾）
平成９年３月 ディスク用表面粗さセンサーの販売を開始（自社開発第２弾）
平成13年１月
セキテクノトロン株式会社とウェーハエッジ欠陥自動検査装置の総代理店契約を締結
平成13年４月 ウェーハ裏面自動検査装置「BackScan」の販売を開始（自社開発第３弾）
平成13年７月 ウェーハトポグラフィー測定検査装置「DynaSearch」の販売代理権を獲得
平成14年７月 ウェーハトポグラフィー測定検査装置「DynaSearch」の機能向上を目指し自社開発を開始
平成15年１月 ウェーハエッジ裏面複合検査装置「EdgeScan B+plus」の販売を開始
平成15年３月 福島県福島市に福島オフィスを開設
平成15年６月 福岡県福岡市中央区に九州オフィスを開設
平成15年７月 Therma-Wave社製薄膜測定装置及びイオンドーズモニターの販売を開始
平成15年７月 米国オレゴン州に RAYTEX USA CORPORATION を設立
平成15年10月 中間工程向けウェーハ全面検査装置を発表（自社開発第４弾）
平成15年10月 ウェーハトポグラフィー測定検査装置「DynaSearch XP」（自社開発版）を発表
平成16年４月 株式会社東京証券取引所マザーズに株式を上場
平成16年６月 ウェーハトポグラフィ測定検査装置「DynaSearch」に関する特許権・商標権の取得
平成16年８月 台湾 台北市に台湾オフィスを開設
平成16年９月 KLA-Tencor社より、ウェーハ測定検査機「NanoPro NP1」に関する特許権・商標権の取得
平成16年９月
セキテクノトロン株式会社とウェーハエッジ欠陥自動検査装置の総代理店契約を解除
平成16年10月 ウェーハエッジ欠陥検査装置「EdgeScan plus」の販売を開始
平成16年10月 韓国 京畿道龍仁市に韓国オフィスを開設
平成17年５月 ウェーハエッジ・裏面多機能検査装置の販売を開始
平成18年１月 品質マネジメントシステムの国際規格ISO9001：2000認証取得
平成18年５月 ウェーハ測定検査機「NanoPro NP1」の販売を開始
平成18年７月 多摩市落合に新社屋完成、本社移転
平成19年３月 株式交換により、株式会社ナノシステムソリューションズを完全子会社化
平成19年７月 Therma-Wave社との独占販売代理店契約を解除
